4.電子氣體
電子特氣是指在半導(dǎo)體芯片制備過(guò)程中需要使用到的各種特種氣體,按照氣體的化學(xué)成分可以分為通用氣體和特種氣體。其中電子特種氣體又可劃分為摻雜氣、外延氣、離子注入用氣、LED用氣、蝕刻用氣、化學(xué)汽相沉淀用氣、載運(yùn)和稀釋氣體等幾大類,種類繁多,在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種電子氣體,常用的有20-30種。
資料來(lái)源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
5.濕電子化學(xué)品
濕電子化學(xué)品,也通常被稱為超凈高純?cè)噭?,是指用在半?dǎo)體制造過(guò)程中的各種高純化學(xué)試劑。為滿足半導(dǎo)體集成電路的發(fā)展水平,濕電子化學(xué)品的技術(shù)實(shí)現(xiàn)了G1到G4級(jí)不同等級(jí)的商業(yè)化生產(chǎn),并向更高技術(shù)等級(jí)的產(chǎn)品進(jìn)步。全球濕電子化學(xué)品市份額為歐美、日韓等海外企業(yè)主導(dǎo),歐美、日本、韓國(guó)企業(yè)市場(chǎng)份額分別約為35%、28%、16%。半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品領(lǐng)域整體國(guó)產(chǎn)化率約23%。
數(shù)據(jù)來(lái)源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理