中商情報(bào)網(wǎng)訊：光刻機(jī)作為芯片產(chǎn)業(yè)的核心裝備，有人稱它為“人類最精密復(fù)雜的機(jī)器”。同時(shí)，光刻機(jī)也被稱為半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠。近日，國(guó)內(nèi)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈的企業(yè)之一，傳芯半導(dǎo)體公開(kāi)宣布已經(jīng)20余項(xiàng)EUV光刻機(jī)技術(shù)專利，加上此前在激光光源、工作臺(tái)、鏡頭等方面所取得的成果，國(guó)產(chǎn)EUV光刻機(jī)已取得了重大進(jìn)展，或許數(shù)年后國(guó)產(chǎn)EUV光刻機(jī)就將量產(chǎn)。

一、產(chǎn)業(yè)鏈

從產(chǎn)業(yè)鏈來(lái)看，光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈主要包括上游設(shè)備及材料、中游光刻機(jī)生產(chǎn)及下游光刻機(jī)應(yīng)用三大環(huán)節(jié)。光刻機(jī)技術(shù)極為復(fù)雜，在所有半導(dǎo)體制造設(shè)備中技術(shù)含量最高。主要涉及系統(tǒng)集成、精密光學(xué)、精密運(yùn)動(dòng)、精密物料傳輸、高精度微環(huán)境控制等多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)，生產(chǎn)一臺(tái)光刻機(jī)往往涉及到上千家供應(yīng)商。

資料來(lái)源：中商產(chǎn)業(yè)研究院

二、上游分析

1.配套材料

光刻膠是電子領(lǐng)域微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵性材料，在半導(dǎo)體、LCD、PCB等行業(yè)的生產(chǎn)中具有重要作用。由于技術(shù)壁壘、認(rèn)證壁壘較高，一直以來(lái)，我國(guó)光刻膠需求對(duì)外依賴度大。近年來(lái)，光刻膠在半導(dǎo)體工業(yè)、PCB、平板顯示等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，市場(chǎng)規(guī)模逐年增長(zhǎng)。數(shù)據(jù)顯示，我國(guó)光刻膠市場(chǎng)規(guī)模由2017年58.7億元增至2020年84億元，年均復(fù)合增長(zhǎng)率為12.7%。中商產(chǎn)業(yè)研究院預(yù)測(cè)，2022年我國(guó)光刻膠市場(chǎng)規(guī)?？蛇_(dá)98.6億元。

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2.核心組件

光刻機(jī)生產(chǎn)制造的技術(shù)要求極高，阿斯麥一臺(tái)光刻機(jī)包含了10萬(wàn)個(gè)零部件，需要40個(gè)標(biāo)準(zhǔn)集裝箱才能裝下，涉及到上游5000多家供應(yīng)商，比如德國(guó)的光學(xué)設(shè)備與超精密儀器，美國(guó)的計(jì)量設(shè)備與光源等。一臺(tái)光刻機(jī)的主要部件包含測(cè)量臺(tái)與曝光臺(tái)、激光器、光束矯正器、能量控制器等11個(gè)模塊。

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半導(dǎo)體激光器在各類激光器中擁有最佳的能量轉(zhuǎn)化效率，一方面可以作為光纖激光器、固體激光器等多種光泵浦激光器的核心泵浦源使用，另一方面，隨著半導(dǎo)體激光技術(shù)在功率、效率、亮度、壽命、多波長(zhǎng)、調(diào)制速率等方面的不斷突破，半導(dǎo)體激光器被廣泛直接應(yīng)用于材料加工、醫(yī)療、光通信、傳感、國(guó)防等領(lǐng)域。2020年，全球激光器市場(chǎng)規(guī)模達(dá)162億美元，隨著全球智能化發(fā)展，預(yù)計(jì)2022年全球激光器市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到184億美元。

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