中商情報(bào)網(wǎng)訊:光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵設(shè)備。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在電動(dòng)汽車、風(fēng)光儲、人工智能等新需求的推動(dòng)下持續(xù)發(fā)展,光刻機(jī)前景廣闊。
一、光刻機(jī)的定義及分類
光刻機(jī),又稱光刻對準(zhǔn)曝光機(jī)、掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)、曝光系統(tǒng)或光刻系統(tǒng)等,是光刻工藝乃至整個(gè)芯片制造過程中的核心設(shè)備。光刻機(jī)可以根據(jù)不同的分類標(biāo)準(zhǔn)劃分為多種類型,以下是一些常見的分類方式:
資料來源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理