中商情報(bào)網(wǎng)訊:半導(dǎo)體設(shè)備是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體制造工藝的媒介工具,在各個(gè)環(huán)節(jié)均發(fā)揮重要作用。熱處理工藝應(yīng)用于半導(dǎo)體制程的氧化、擴(kuò)散和退火制程,所包含設(shè)備為臥式爐、立式爐以及快速升溫爐(RTP)。
市場(chǎng)規(guī)模
熱處理設(shè)備合計(jì)占半導(dǎo)體制造設(shè)備份額約3%。近年來(lái)氣球半導(dǎo)體熱處理設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模保持增長(zhǎng)趨勢(shì),2020年市場(chǎng)規(guī)模達(dá)15.4億美元,同比增長(zhǎng)9.22%。預(yù)計(jì)2022年將進(jìn)一步增長(zhǎng)至20.3億美元。
數(shù)據(jù)來(lái)源:Gartner、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
市場(chǎng)結(jié)構(gòu)
2020年快速熱處理設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為7.2億美元,占比37.9%;氧化/擴(kuò)散設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模約 5.5 億美元,占比28.9%;柵極堆疊(Gate Stack)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為2.7 億美元占比14.2%。
數(shù)據(jù)來(lái)源:Gartner、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
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