2.電子氣體
電子特氣是指在半導(dǎo)體芯片制備過(guò)程中需要使用到的各種特種氣體,按照氣體的化學(xué)成分可以分為通用氣體和特種氣體。其中電子特種氣體又可劃分為摻雜氣、外延氣、離子注入用氣、LED用氣、蝕刻用氣、化學(xué)汽相沉淀用氣、載運(yùn)和稀釋氣體等幾大類,種類繁多,在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種電子氣體,常用的有20-30種。
資料來(lái)源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
3.制造設(shè)備
數(shù)據(jù)顯示,各晶圓制造設(shè)備中以光刻機(jī)、刻蝕機(jī)和薄膜沉積設(shè)備的產(chǎn)值最大,生產(chǎn)難度也最高。光刻機(jī)占比達(dá)30%,CVD設(shè)備占比達(dá)20%,刻蝕設(shè)備及PVD設(shè)備占比均達(dá)12%。
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下圖為全球晶圓制造設(shè)備相關(guān)企業(yè)匯總一覽表:
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