中商情報網(wǎng)訊:近年來,國外出臺的出口新政將對中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)帶來很大的影響,但同時也帶來了前所未有的機遇,將不斷促進本國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的發(fā)展。
一、中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)上市企業(yè)整體情況
半導(dǎo)體設(shè)備上游為零部件及系統(tǒng)供應(yīng)環(huán)節(jié),中游為半導(dǎo)體設(shè)備制造環(huán)節(jié)。
零部件包括軸承、傳感器、石英、邊緣環(huán)、反應(yīng)腔噴淋頭、泵、陶瓷件、射頻發(fā)生器、機械臂等,核心子系統(tǒng)包括氣液流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、電源及氣體反應(yīng)、熱管理系統(tǒng)、晶圓傳送系統(tǒng)、集成系統(tǒng);各類半導(dǎo)體設(shè)備,主要包括光刻機、刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、真空鍍膜設(shè)備、清洗設(shè)備、離子注入設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備、CMP設(shè)備、熱處理設(shè)備等。
資料來源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
代表性企業(yè)有北方華創(chuàng)、盛美上海、中微公司等。
資料來源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理