2024年中國電子特氣行業(yè)市場前景預測研究報告（簡版）
來源：中商產業(yè)研究院 發(fā)布日期：2024-11-01 08:47
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中商情報網訊：電子特氣作為特種氣體的一種，在電子產品制程中廣泛應用于刻蝕、清洗、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED及光伏等半導體材料的“糧食”和“源”。

一、電子特氣的定義及分類

電子特氣是指當氣體中的電子濃度非常高時，電子的自由程比氣體分子的自由程要短，導致氣體分子與電子之間的相互作用顯著增強，進而使氣體分子電離并形成的一種高度電離的等離子體。電子特氣具有高純度、穩(wěn)定性、多樣性的特點，在電子工業(yè)中具有廣泛的應用。

電子特氣的類型繁多，每種類型都有其特定的用途和化學成分。

資料來源：中商產業(yè)研究院整理

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