2023年中國光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈圖譜研究分析（附產(chǎn)業(yè)鏈全景圖）
來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院 發(fā)布日期：2023-09-01 11:58
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中商情報(bào)網(wǎng)訊：光刻機(jī)是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù)，把掩膜版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上。為了避免在芯片產(chǎn)能爬坡時(shí)被外界的設(shè)備供應(yīng)給“卡脖子”，國產(chǎn)光刻機(jī)正在加快突破。

一、產(chǎn)業(yè)鏈

中國光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈上游為材料、設(shè)備及組件；中游為不同類型光刻機(jī)，包括有掩膜光刻機(jī)和無掩膜光刻機(jī)；下游為應(yīng)用領(lǐng)域，包括芯片制作、芯片封裝、功率器件制造、LED、MEMS制造。

圖片來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院

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