中商情報(bào)網(wǎng)訊:光刻機(jī)作為芯片產(chǎn)業(yè)的核心裝備,有人稱(chēng)它為“人類(lèi)最精密復(fù)雜的機(jī)器”。同時(shí),光刻機(jī)也被稱(chēng)為半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠。光刻的主要作用是將掩模版上的芯片電路圖轉(zhuǎn)移到硅片上,是芯片制造的核心環(huán)節(jié)。光刻工藝定義了半導(dǎo)體器件的尺寸,光刻的工藝水平直接決定芯片的制程和性能水平。
業(yè)內(nèi)消息傳出,2021年3月初,中芯國(guó)際與荷蘭光刻機(jī)公司阿斯麥(簡(jiǎn)稱(chēng):ASML)簽下大單,訂購(gòu)12億美元光刻機(jī)。近年來(lái),我國(guó)雖然在科技研發(fā)上取得了多項(xiàng)重大進(jìn)步,但在芯片研發(fā)和制造領(lǐng)域卻亟待突破,特別是在新冠疫情之后,全球新一輪的“芯片荒”來(lái)襲造成了產(chǎn)業(yè)鏈對(duì)于芯片供不應(yīng)求的問(wèn)題,我國(guó)想要推進(jìn)獨(dú)立自主的芯片研發(fā),光刻機(jī)的生產(chǎn)制造就顯得尤為重要。
一、產(chǎn)業(yè)鏈
從產(chǎn)業(yè)鏈來(lái)看,光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈主要包括上游設(shè)備及材料、中游光刻機(jī)生產(chǎn)及下游光刻機(jī)應(yīng)用三大環(huán)節(jié)。
資料來(lái)源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理